Mitutoyo紫外三丰物镜378-839-5 M Plan UV 80x

品 名货号

数值孔径

NA

工作距离

WD(mm)

焦距

f(mm) 分辨力

R(μm)

物镜单体的焦深

±D.F.(μm)

实际视场(mm) 质量

f266 f550 ø24目镜 (g) 1/2型

相机 (纵×横)

M Plan UV

M Plan UV 10× 378-844-15 0.25 20.0 20 20.3 1.1 4.4 2.4 0.48×0.64 310

M Plan UV 20× 378-837-8 0.37 15.0 10 10.4 0.7 2.0 1.2 0.24×0.32 370

M Plan UV 50× 378-838-8 0.41 12.0 4 4.2 0.7 1.6 0.48 0.10×0.13 400

M Plan UV 80× 378-839-5 0.55 10.0 2.5 2.9 0.5 0.9 0.3 0.06×0.08 380

● 结合使用显微镜和YAG激光，在试料上投影掩模图像时，掩模图像会缩小到f/200(本公司镜筒透镜，焦距f＝200mm)倍投影，由于f550＞f266，因此紫外光(波长266nm)的加工面积略小于可

见光(波长550nm)的掩模图像。

● 上述规格栏中的分辨力和物镜单体焦深是根据基准波长(λ＝0.55μm)计算得出的值

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