Mitutoyo显微镜三丰FS70L4-TH 378-167-3
·带目镜观察部的小巧显微镜单元
适用于金属表面和半导体、液晶、树脂等各种观察对象。
·适用于使用YAG激光(近红外、可见、近紫外、紫外)的微细加工※ ※不保证激光系统产品的性能和安全性。
半导体电路的切割、修整、修正、打标、薄膜(绝缘膜)的去除和加工、液晶彩色滤光片等的修复(修正缺陷)等。
并适合作为半导体故障分析用探针台的光学观察部分。
·适用于红外光学系统※
硅类的内部观察、红外光谱特征分析等。※另需红外光源和红外摄像机等。
·推出了适用于明视场、暗视场、简易偏光、微分干涉观察的机型
·反射照明光学系统标配带孔径光阑科勒照明
·通过采用内部转塔和长工作距离物镜，确保了在显微镜下的高操作性
■规格
标准目镜规格
型号FS70Z － FS70ZD FS70L FS70L4
货号378-165-1 － 请咨询378-166-1 378-167-1
可变角度
目镜规格
型号－ FS70Z-TH FS70ZD-TH FS70L-TH FS70L4-TH
货号－ 378-165-3 请咨询378-166-3 378-167-3
观察成像明视场、简易偏光、微分干涉 /正像明视场、简易偏光/正像
目镜(必选件) 10×(视场数24)、15×(视场数16)、20×(视场数12)
镜筒
三目镜筒
视场数24
可调瞳距西登托夫型，调节范围：51～76mm
俯角0～20°(仅限-TH)，眼点移动量约114mm
光路
固定式
(目镜/TV＝50%/50%)
切换式
(目镜/管径＝100%/0%：
0%/100%)
固定式
(目镜/TV＝50%/50%)
切换式
(目镜/管径＝100%/0%：0%/100%)
相机接口
卡口部
C-Mount(使用适配器B※1)
使用适配器B进行齐焦调节
C-Mount规格
(齐焦调节机构)
C-Mount规格
(带绿色滤光片切换功能) (齐
焦调节机构)
防护滤光片－ 内置激光滤光片
成像(镜筒)透镜内置1～2×(可见校正)变焦
内置1×(近红外～可见～近紫
外校正) 内置1×(可见、紫外校正)
激光接口
光学系统
－
倍率：1× 波长：
355/532/1064nm 倍率：1× 波长：266/532nm
卡口部分YAG激光振荡器
可配备(基波、2次/3次谐波)
YAG激光振荡器
可配备(2次、4次谐波)
聚焦
部分
粗调单轴粗微调(粗调：3.8mm/圈，微调：0.1mm/圈)
移动量50mm、左右手柄
反射照明光学系统明视场落射照明(科勒照明、带孔径光阑)
照明装置(选件) 12V100W光纤照明装置(No.378-700DC)/15V150W光纤照明装置(No.176-316DC)均为无级旋钮调光式，
光导长度=1500mm
转塔(必选件) 调心齐焦手动转塔4孔
/调心电动转塔5孔
手动转塔4孔
/电动转塔4孔
调心齐焦手动转塔4孔
/调心电动转塔5孔
物镜
(必选件)
观察用
M Plan Apo
M Plan Apo HR
M Plan Apo SL
G Plan Apo
BD Plan Apo
BD Plan Apo HR
BD Plan Apo SL
M Plan Apo
M Plan Apo HR
M Plan Apo SL
G Plan Apo
激光
加工用
－
M/LCD Plan Apo NIR
M/LCD Plan Apo NUV
※根据激光振荡器的使用波长选择
M Plan UV
镜筒部最大承重※2 约14kg(-TH：约13.2kg) 约13.9kg(-TH：约13.1kg)
外观尺寸参照P.27
主体重量6.6kg(-TH：7.4kg) 6.7kg(-TH：7.5kg)
※1：选装。※2：不包括转塔、物镜、目镜的重量。
注)使用物镜M Plan Apo 1×时，建议搭配使用偏光装置(No.378-092或378-094)。
注)在FS70L、FS70L4上安装YAG激光振荡器使用时，
·请注意激光输入值和能量密度等。否则可能会导致光学系统受损。
